超臨界流體法是尚在研究的一種新技術。

在超臨界情況下，降低壓力可以導致過飽和的產生，而且可達到高過飽和速率，使固體溶質從超臨界溶液中結晶出來。由于結晶過程是在準均勻介質中進行的，能夠得到更準確的控制。

因此，從超臨界溶液中進行固體沉積是一種很有前途的新技術，能夠產生平均粒徑很小的細微粒子，而且還可控制其粒度分布。